
随着半导体、新能源产业快速发展,硬脆材料微纳米级精密加工需求持续提升,传统激光、湿法刻蚀工艺难以实现复杂微结构批量生产。派挺科技创新微纳喷砂技术,改善了传统工艺加工不均、效率低、参数一致性差等问题。
针对传统喷砂工艺加工不均、生产效率低、表面粗糙度及材料去除量稳定性不足等问题,宁波派挺科技研发出新一代微纳喷砂与掩膜精密喷砂工艺,有效解决晶圆、玻璃基板、静电卡盘、复合新材料等关键零部件的加工难点。
经过长期技术迭代与攻关,我方已形成精密喷砂全制程一体化解决方案。相关技术成果相继在 2026 合肥半导体集成电路展、第八届重庆全球半导体产业博览会展出,印证了企业在国内精密喷砂领域的技术优势。
一、技术突破:从“传统喷砂”到“微纳米级喷砂”,派挺定义国产精度新高度
作为国家级高新技术企业,派挺科技率先建成半导体级微纳精密喷砂工艺实验室,专注攻克半导体产业链高精度表面处理及微喷砂工艺难题。公司自主研发的精密喷砂系统,将微粉喷砂的粒度控制与流场均匀性提升至全新水平,可满足以下场景:

· 半导体核心部件:针对ESC喷砂(静电卡盘凸台高精度喷砂加工,RA0.6-1μm,凸点50±3μm)、发热盘、喷淋头,真空腔体等设备精密部件高精密喷砂加工,实现粗糙度与表面一致性100%可控,杜绝不良。
· 微结构加工:晶圆,玻璃基板、陶瓷基板的图形化加工、微孔及微槽加工,满足电池极片、散热基板的微米级沟槽与通孔需求。


二、为什么派挺科技值得被关注?
· 打破垄断:全面突破欧美日韩在高端喷砂设备领域的技术封锁,加工精度达到微纳米级,解决了系统制程核心瓶劲,工艺稳定性与智能化水平实现反超。
· 自主体系:形成完整自主知识产权,设备性能与工艺技术国际领先,正加速推动半导体装备产业链的国产化替代进程。
· 用户合作:已经与江丰、先导、海拓、先锋等一批行业头部企业紧密合作,并为其提供了装机服务。

三、关于派挺科技
派挺科技(PTING)始创于 2005 年,微纳喷砂事业部专注精密喷砂设备的研发、生产与创新,主打领先的纳米级喷砂技术。公司建有专业喷砂实验加工中心,配备全套实验设备、检测仪器及多元磨料,可完成样品测试、工艺开发、试产到小批量生产的全流程服务。迄今为止,我们服务全球 2000 余家客户,累计交付设备超 15000 台,全程提供现场安装、调试与培训。产品广泛应用于半导体、微电子、新材料、汽车、家电、航空航天等领域。


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